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 Early Growth Stages of Aluminum Oxide (Al2O3) Insulating Layers by Thermal- and Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition on AlGaN/GaN Heterostructures 相关领域
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期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Emanuela Schilirò; Patrick Fiorenza; Giuseppe Greco; Francesca Monforte; Guglielmo Guido Condorelli; et al 出版日期：2021-12-30 |
| 求助人 |
大灰狼 在
2022-06-13 23:15:55 发布，悬赏 10 积分
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