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标题
Sensitivity enhancement of a high-resolution negative-tone nonchemically amplified metal organic photoresist for extreme ultraviolet lithography
相关领域
抵抗 光刻胶 电子束光刻 极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 极端紫外线 紫外线 光电子学 阴极射线 光学 下一代光刻 X射线光刻 纳米技术 电子 物理 激光器 图层（电子） 量子力学
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.041404
DOI
10.1117/1.jmm.21.4.041404 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者：Scott M. Lewis; Hayden R. Alty; Michaela Vockenhuber; Guy A. DeRose; Antonio Fernandez-Mato; et al
出版日期：2022-06-02
求助人
芝昂张 在 2022-11-11 21:02:53 发布自山东，悬赏 10 积分
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应助活动周（3月24-30日）排名
今日排名（3月31日）
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第1名：50元；第2名：30元；第3名：10元
总排名
1#10781 nozero
4410
63710
2#9078 SYLH
4506
45720
3#8620 科研小民工
3370
52500
4#8325 shinysparrow
3452
48730
5#4266 xjcy
2126
21400
6#2823 小透明
1113
17100
7#2809 劲秉
635
21740
8#2243 迟大猫
1118
11250
9#2197 天才小能喵
1045
11520
10#1824 CAOHOU
908
9160
11#1781 加菲丰丰
853
9280
12#1715 昏睡的蟠桃
484
12310
13#1581 从容芮
677
9040
14#1249 子车茗
562
6870
15#1214 S77
607
6070
16#1046 浦肯野
430
6160
17#940 cdercder
405
5350
18#930 枫叶
457
4730
19#926 36456657
452
4740
20#738 1+1
324
4140
21#710 史小菜
309
4010
22#697 tuanheqi
61
6360
23#696 果粒橙
348
3480
24#665 curtisness
324
3410
25#654 毛豆
325
3290
26#632 QOP
313
3190
27#592 彭于彦祖
178
4140
28#578 默默地读文献
284
2940
29#536 pcr163
59
4770
30#496 研友_Z30GJ8
247
2490
31#436 HEIKU
218
2180
32#411 火星上的菲鹰
197
2140
33#410 实验好难
190
2200
34#402 遇上就这样吧
194
2080
35#384 VDC
127
2570
36#380 Singularity
189
1910
37#370 Catalina_S
182
1880
38#369 我是站长才怪
181
1880
39#368 cctv18
179
1890
40#366 柒月
64
3020
41#336 从容的惋庭
168
1680
42#326 pluto
161
1650
43#324 lin
161
1630
44#318 言非离
143
1750
45#316 不懈奋进
141
1750
46#316 时丶倾
158
1580
47#311 muxiangrong
133
1780
48#308 贰鸟
142
1660
49#308 8R60d8
154
1540
50#301 一一
98
2030
第1名：500元；第2名：300元；第3名：100元
第4名：50元；第5名：30元；第6-10名：10元
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