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标题
Investigation of defect formation in porous ultra low k film (k=2.5) for 28nm technological node
相关领域
材料科学 电介质 低介电常数 扫描电子显微镜 生产线后端 透射电子显微镜 CMOS芯片 光电子学 纳米技术 多孔性 制作 硅 复合材料
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2015.04.031
DOI
10.1016/j.mee.2015.04.031 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Zhou Ming; Deng Hao; Zhang Beichao
出版日期：2015-06-01
求助人
幽默尔风 在 2023-04-07 15:34:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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