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标题
Marangoni effect-based under-layer for a Dual Damascene via-first approach: a scalable solution to the unwanted photoresist swing effect
相关领域
材料科学 抵抗 光刻胶 图层（电子） 光电子学 马朗戈尼效应 缓冲器（光纤） 平版印刷术 铜互连
网址
https://doi.org/10.1117/12.2551864
DOI
10.1117/12.2551864 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXVII
作者：Valentina Dall'Asta; Emma Litterio; Nicoletta Corneo; Jakub Koza; Jonathan Jeauneau; et al
出版日期：2020
求助人
kuxingzhe1993 在 2021-08-17 22:16:14 发布，悬赏 10 积分
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