Cleaning Effects by NH4OH Solution on Surface of Cu Film for Semiconductor Devices

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标题	Cleaning Effects by NH4OH Solution on Surface of Cu Film for Semiconductor Devices 相关领域清洁剂 X射线光电子能谱材料科学脱脂成分核化学硅酸钠氧化物冶金化学
网址	https://doi.org/10.3740/MRSK.2012.22.9.459
DOI	10.3740/MRSK.2012.22.9.459 doi
其它	期刊：Korean Journal of Materials Research 作者：Youn-Seoung Lee; Sang-Soo Noh; Sa-Kyun Rha 出版日期：2012
求助人	伯赏鹤轩在 2022-08-12 17:42:37 发布自北京，悬赏 10 积分
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