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标题
Effects of Insert Materials of Retaining Ring on Polishing Finish in Oxide CMP
相关领域
插入（复合材料） 抛光 材料科学 化学机械平面化 复合材料 戒指（化学） 化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.14775/ksmpe.2019.18.8.044
DOI
10.14775/ksmpe.2019.18.8.044 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
作者：Kiwon Park; Dong-Sam Park
出版日期：2019-08-31
求助人
泊松 在 2023-03-23 22:30:00 发布自陕西，悬赏 10 积分
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