Effect of dead layers on the ferroelectric property of ultrathin HfZrOx film

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标题	Effect of dead layers on the ferroelectric property of ultrathin HfZrOx film 相关领域电极锡铁电性退火（玻璃）材料科学正交晶系原子层沉积极化（电化学）图层（电子）薄膜纳米技术结晶学光电子学电介质复合材料化学晶体结构物理化学冶金
网址	https://doi.org/10.1063/5.0030856
DOI	10.1063/5.0030856 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Seung-Yeol Oh; Hyungwoo Kim; Alireza Kashir; Hyunsang Hwang 出版日期：2020-12-23
求助人	褚海在 2023-02-03 11:08:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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