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Microvoid Defects in Nitrogen- and/or Carbon-doped Czochralski-grown Silicon Crystals
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Jun Takahashi; Katsuhiko Nakai; Kazuto Kawakami; Yoshiharu Inoue; Hideki Yokota; et al 出版日期:2003-02-15 |
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