High performance LaNiO3-buffered, (001)-oriented PZT piezoelectric films integrated on (111) Si - 科研通

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标题	High performance LaNiO3-buffered, (001)-oriented PZT piezoelectric films integrated on (111) Si 相关领域材料科学压电锆钛酸铅压电系数复合材料制作异质结溅射退火（玻璃）铁电性微电子机械系统图层（电子）薄膜光电子学纳米技术电介质医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0107526
DOI	10.1063/5.0107526 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yingying Wang; Jun Ouyang; Hongbo Cheng; Yushu Shi; Takumi Nishikado; et al 出版日期：2022-10-31
求助人	钮傲薇在 2023-01-07 20:26:37 发布自河北，悬赏 10 积分
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