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Bonding integrity enhancement in wafer to wafer fine pitch hybrid bonding by advanced numerical modelling
相关领域
薄脆饼
晶片键合
材料科学
光电子学
阳极连接
晶圆规模集成
晶圆级封装
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期刊:Electronic Components and Technology Conference 作者:Lin Ji; Fa Xing Che; Hong Ji; Hong Li; Masaya Kawano 出版日期:2020-06-03 |
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