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 Titanium oxynitride films for surface passivation of crystalline silicon deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition to improve electrical conductivity 相关领域
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期刊：Thin Solid Films 作者：Eun-Jin Song; Hyunjin Jo; Se-Hun Kwon; Ji-Hoon Ahn; Jung-Dae Kwon 出版日期：2020-01-31 |
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