Effect of the carboxyl group number of the complexing agent on polishing performance of alumina slurry in sapphire CMP

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标题	Effect of the carboxyl group number of the complexing agent on polishing performance of alumina slurry in sapphire CMP 相关领域磨料蓝宝石泥浆抛光材料科学 Zeta电位化学机械平面化润湿乙二胺四乙酸 X射线光电子能谱螯合作用色散（光学）表面粗糙度化学工程冶金复合材料纳米技术光学纳米颗粒工程类物理激光器
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.12.246
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.12.246 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Wei Zhang; Hong Lei; Wei Liu; Zefang Zhang 出版日期：2022-12-01
求助人	ssss 在 2023-01-31 18:12:57 发布自吉林，悬赏 10 积分
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