标题 |
Low temperature synthesis of dense SiO2 thin films by ion beam induced chemical vapor deposition
相关领域
材料科学
薄膜
化学气相沉积
分析化学(期刊)
离子镀
沉积(地质)
碳膜
基质(水族馆)
化学工程
离子束
硅
离子
电子束物理气相沉积
原子层沉积
等离子体增强化学气相沉积
X射线光电子能谱
蒸发
燃烧化学气相沉积
物理气相沉积
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Thin Solid Films 作者:A Barranco; F Yubero; J Cotrino; J.P Espinós; J Benı́tez; et al 出版日期:2001 |
求助人 |
研友_GZ372Z 在
2022-02-28 21:33:59 发布,悬赏 10 积分
|
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|