A surface motor-driven planar motion stage integrated with an XYθ surface encoder for precision positioning

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标题	A surface motor-driven planar motion stage integrated with an XYθ surface encoder for precision positioning 相关领域平面的编码器曲面（拓扑）直线电机旋转（数学）定子旋转编码器直线运动声学计算机科学材料科学光学物理电气工程工程类数学计算机图形学（图像）几何学人工智能操作系统
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014163590...
DOI	10.1016/j.precisioneng.2003.12.003 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Wei Gao; Shuichi Dejima; Hiroaki Yanai; Kei Katakura; Satoshi Kiyono; Yoshiyuki Tomita 出版日期：2004-04-21
求助人	支梦之在 2023-04-18 20:36:58 发布自河北，悬赏 10 积分
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