标题 |
Elimination of blind zone in nanoparticle removal on silicon wafers using a double-beam laser shockwave cleaning process
相关领域
薄脆饼
激光器
等离子体
材料科学
梁(结构)
光电子学
光学
物理
量子力学
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网址 | |
DOI |
10.1016/j.apsusc.2020.148057
doi
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其它 |
期刊:Applied Surface Science 作者:Shuowen Zhang; Qingyu Yan; Jian Lin; Qunli Zhang; Yongfeng Lu; et al 出版日期:2021 |
求助人 |
研友_ZlxWxZ 在
2020-11-26 19:45:56 发布,悬赏 10 积分
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