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A sub-Watt, line-narrowing, 193-nm solid state laser operating at 6 kHz with KBBF for injection-locking ArF excimer laser systems
相关领域
瓦特
激光器
材料科学
引用
准分子激光器
光电子学
光学
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期刊: 作者:Shinji Ito; Takashi Onose; Kouji Kakizaki; Takashi Matsunaga; Junichi Fujimoto; et al 出版日期:2012-01-29 |
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