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 Role of Oxygen Source on Buried Interfaces in Atomic-Layer-Deposited Ferroelectric Hafnia–Zirconia Thin Films 相关领域
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：H. Alex Hsain; Younghwan Lee; Suzanne Lancaster; Monica Materano; Ruben Alcala; et al 出版日期：2022-09-07 |
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