The calculation method of the electrostatic drive force of micro machined groscope comb

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标题	The calculation method of the electrostatic drive force of micro machined groscope comb
网址	http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1004-1699.2011.09.008
DOI	10.3969/j.issn.1004-1699.2011.09.008 doi
求助人	轩辕乌在 2022-06-15 14:59:41 发布，悬赏 10 积分
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