标题 |
A novel Deal–Grove‐inspired model for fluorine‐based plasma jet etching of borosilicate crown optical glass
相关领域
氟
材料科学
等离子体
蚀刻(微加工)
硼硅酸盐玻璃
激光器
等离子体刻蚀
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网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Plasma Processes and Polymers 作者:Faezeh Kazemi; Georg Boehm; Thomas Arnold 出版日期:2020 |
求助人 |
freddy 在
2021-01-08 06:55:18 发布,悬赏 10 积分
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