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标题
A novel Deal–Grove‐inspired model for fluorine‐based plasma jet etching of borosilicate crown optical glass
相关领域
材料科学 等离子体 蚀刻(微加工) 硼硅酸盐玻璃 激光器 等离子体刻蚀
网址
DOI
10.1002/ppap.202000218 doi
其它 期刊:Plasma Processes and Polymers
作者:Faezeh Kazemi; Georg Boehm; Thomas Arnold
出版日期:2020
求助人
freddy 在 2021-01-08 06:55:18 发布,悬赏 10 积分
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