Laser chemical vapour deposition for microelectronics

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标题	Laser chemical vapour deposition for microelectronics 相关领域材料科学化学气相沉积激光器沉积（地质）微电子薄膜光电子学脉冲激光沉积离子镀纳米技术分析化学（期刊）化学工程硅
网址	https://doi.org/10.1016/0169-4332(94)00451-X
DOI	10.1016/0169-4332(94)00451-X doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Geoffroy Auvert 出版日期：1995
求助人	清疯在 2021-09-09 16:54:08 发布，悬赏 10 积分
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