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 Effect of Process Parameters on Friction Force and Material Removal in Oxide Chemical Mechanical Polishing 相关领域
化学机械平面化
磨料
泥浆
抛光
薄脆饼
材料科学
氧化物
复合材料
表面光洁度
相对速度
表面粗糙度
冶金
纳米技术
物理
量子力学
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