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Direct wafer bonding of Ga2O3–SiC at room temperature
室温下Ga2O3-SiC直接晶片键合
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期刊:Ceramics International 作者:Yang Xu; Fengwen Mu; Yinghui Wang; Dapeng Chen; Xin Ou; et al 出版日期:2018-11-28 |
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