Frequency effects on the dielectric properties of AlN film deposited by radio frequency reactive magnetron sputtering - 科研通

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标题	Frequency effects on the dielectric properties of AlN film deposited by radio frequency reactive magnetron sputtering 频率对射频反应磁控溅射AlN薄膜介电性能的影响相关领域材料科学电介质耗散因子电阻率和电导率溅射溅射沉积氮化物钝化分析化学（期刊）复合材料光电子学薄膜图层（电子）化学电气工程纳米技术工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.03.036
DOI	10.1016/j.mee.2009.03.036 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Xiufeng Song; Renli Fu; Hong He 出版日期：2009-03-14
求助人	研友_8RlXEn 在 2024-10-28 22:21:56 发布自广东，悬赏 10 积分
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