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 SF6/Ar plasma textured periodic glass surface morphologies with high transmittance and haze ratio of ITO:Zr films for amorphous silicon thin film solar cells 用于非晶硅薄膜太阳能电池的高透射率和雾度比ITO：Zr薄膜的SF6/Ar等离子体织构周期玻璃表面形貌
相关领域
材料科学
透射率
薄板电阻
表面粗糙度
无定形固体
非晶硅
蚀刻（微加工）
溅射沉积
钝化
硅
薄膜
溅射
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化学
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期刊：Vacuum 作者：Shahzada Qamar Hussain; Gi Duk Kwon; Shihyun Ahn; Sunbo Kim; Hyeongsik Park; et al 出版日期：2015-04-12 |
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