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Physicochemical and structural properties of silica films prepared from perhydropolysilazane using vacuum ultraviolet irradiation
全氢聚硅氮烷真空紫外光制备二氧化硅薄膜的物理化学和结构性能
相关领域
辐照
真空紫外
紫外线照射
紫外线
材料科学
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物理
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核物理学
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期刊:Thin Solid Films 作者:Yasuhiro Naganuma; C. Kato; Toshiyuki Watanabe; Satoru Kaneko; Satomi Tanaka 出版日期:2024-07-01 |
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