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 Improving electrical conductivity and wear resistance of hafnium nitride films via tantalum incorporation 掺钽提高氮化铪薄膜的导电性和耐磨性
相关领域
钽
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期刊：Ceramics International 作者：Jing Gao; Yue Zhao; Zhiqing Gu; Sam Zhang; Mao Wen; et al 出版日期：2017-04-03 |
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