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Bond Strength Measurement for Wafer-Level and Chip-Level Hybrid Bonding
晶圆级和芯片级混合键合的键合强度测量
相关领域
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粘结强度
材料科学
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期刊:2022 IEEE 9th Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC) 作者:Junya Fuse; Yuki Yoshihara; Marie Sano; Fumihiro Inoue 出版日期:2024-09-11 |
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