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标题
Nanoelectromechanical resonators for gigahertz frequency control based on hafnia–zirconia–alumina superlattices
基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的千兆赫频率控制纳米机电谐振器
相关领域
谐振器 材料科学 光电子学 纳米机电系统 谐振器耦合系数 电子工程 纳米技术 工程类 纳米颗粒 纳米医学
网址
DOI
10.1038/s41928-023-00999-9 doi
其它 期刊:Nature electronics
作者:Troy Tharpe; Eitan Hershkovitz; Faysal Hakim; Honggyu Kim; Roozbeh Tabrizian
出版日期:2023-07-27
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yangqi 在 2024-12-16 12:40:05 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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