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![]() 反应溅射沉积过程中等离子体-半导体薄膜系统的原位阻抗谱
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Michal Zanáška; P. Kudrna; Martin Čada; M. Tichý; Zdeněk Hubička 出版日期:2019-07-09 |
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