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Guide to the measurement of smooth surface topography using coherence scanning interferometry
使用相干扫描干涉测量法测量光滑表面形貌指南
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期刊: 作者:Richard Leach; L. Brown; Xiangqian Jiang; R. Blunt; Mike Conroy; et al 出版日期:2008-04-01 |
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