Substrate temperature induced structure transformation in plasma film deposition process

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标题	Substrate temperature induced structure transformation in plasma film deposition process 等离子体薄膜沉积过程中衬底温度诱导的结构转变相关领域材料科学等离子体沉积（地质）基质（水族馆）过程（计算）化学工程转化（遗传学）薄膜复合材料冶金纳米技术化学操作系统基因计算机科学生物化学地质学生物工程类沉积物量子力学物理海洋学古生物学
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789722...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2022.129071 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Ruixue Wang; Yuchen Liu; Shuang Xue; Pengcheng Xie; Weimin Yang 出版日期：2022-11-16
求助人	Marlatinda 在 2025-02-22 16:19:22 发布自江苏，悬赏 10 积分
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