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 Mobility Enhancement Induced by Oxygen Gettering of TiAl for Metal Gated NMOSFETs TiAl吸氧对金属栅NMOSFET迁移率的增强
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材料科学
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Zhao-Yang Li; Xuejiao Wang; Han-Lun Cai; Zhao-Zhang Yan; Tao Huang; et al 出版日期：2023-01-13 |
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