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 Effect of hyperthermal annealing on LPCVD silicon nitride 高温退火对LPCVD氮化硅的影响
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
残余应力
化学气相沉积
氮化硅
折射率
复合材料
氮化物
硅
光电子学
图层（电子）
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Wanli Jiang; Dehui Xu; Shaokang Yao; Bin Xiong; Yuelin Wang 出版日期：2015-12-29 |
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