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Young’s modulus and ferroelectric property of BaTiO3 films formed by aerosol deposition in consideration of residual stress and film thickness
考虑残余应力和膜厚的气溶胶沉积BaTiO3薄膜的杨氏模量和铁电性能
相关领域
材料科学
残余应力
复合材料
微观结构
纳米压痕
铁电性
压电
薄膜
退火(玻璃)
弹性模量
模数
电介质
光电子学
纳米技术
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其它 |
期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Kohei Maruyama; Yoshihiro Kawakami; Fumio Narita 出版日期:2022-06-30 |
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