The Satisloh plasma polisher: plasma surface figuring ultra precision optics

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标题	The Satisloh plasma polisher: plasma surface figuring ultra precision optics Satisloh等离子抛光机：等离子表面加工超精密光学器件相关领域计算光学抛光材料科学白光干涉法表面粗糙度等离子体干涉测量机械加工表面光洁度光电子学物理复合材料量子力学冶金
网址	https://doi.org/10.1117/12.2685860
DOI	10.1117/12.2685860 doi
其它	作者：Adam Bennett; Katherine Gobey; Nan Yu; Marco Raciti Castelli; Steffen Moos; et al 出版日期：2023-11-30
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