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标题
The composition of ultrathin silicon oxynitrides thermally grown in nitric oxide
一氧化氮中热生长的超薄氧氮化硅的组成
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网址
https://doi.org/10.1063/1.365858
DOI
10.1063/1.365858 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：E. P. Gusev; Hongcheng Lu; T. Gustafsson; Eric Garfunkel; M. L. Green; et al
出版日期：1997-07-15
求助人
doudou 在 2024-12-11 15:37:51 发布自陕西，悬赏 10 积分
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