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 Measurement of the Anisotropy of Young's Modulus in Single-Crystal Silicon 单晶硅杨氏模量各向异性的测量
相关领域
模数
各向异性
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硅
薄脆饼
微电子机械系统
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光电子学
光学
物理
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：E. Boyd; Deepak Uttamchandani 出版日期：2011-12-03 |
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