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Two-photon nanolithography of positive photoresist of AZ 5214E with a spatial resolution at nanoscale
AZ 5214E正性光刻胶的纳米空间分辨率双光子纳米光刻
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期刊:Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者:Guo-Juan Xu; Qianhua Li; Cheng Chen; Rong Zhou; Xiaojie Li; et al 出版日期:2023-03-02 |
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