标题 |
A novel MOCVD reactor for growth of high-quality GaN-related LED layers
一种用于生长高质量GaN相关LED层的新型MOCVD反应器
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
化学气相沉积
光电子学
氮化镓
外延
发光二极管
光致发光
氮化物
二极管
薄膜
宽禁带半导体
图层(电子)
复合材料
纳米技术
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其它 |
期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Shaolin Hu; Sheng Liu; Zhi Zhang; Han Yan; Zhiyin Gan; et al 出版日期:2015-01-08 |
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