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A dynamic stress analyzer for microelectromechanical systems (MEMS) based on Raman spectroscopy
基于拉曼光谱的微机电系统动态应力分析仪
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期刊:Journal of Raman Spectroscopy 作者:Chenyang Xue; Lina Zheng; Wendong Zhang; Binzhen Zhang; Aoqun Jian 出版日期:2006-12-15 |
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