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E–H transitions in Ar/O2 and Ar/Cl2 inductively coupled plasmas: Antenna geometry and operating conditions
Ar/O2和Ar/Cl2电感耦合等离子体中的E-H跃迁:天线几何形状和工作条件
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Tugba Piskin; Yuchen Qian; Patrick Pribyl; Walter Gekelman; Mark J. Kushner 出版日期:2023-05-01 |
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