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标题
E–H transitions in Ar/O2 and Ar/Cl2 inductively coupled plasmas: Antenna geometry and operating conditions
Ar/O2和Ar/Cl2电感耦合等离子体中的E-H跃迁:天线几何形状和工作条件
相关领域
等离子体 原子物理学 占空比 感应耦合等离子体 余辉 天线(收音机) 材料科学 温度电子 等离子体诊断 化学 朗缪尔探针 脉冲持续时间 分析化学(期刊) 光学 电压 激光器 电气工程 物理 工程类 天文 量子力学 色谱法 伽马射线暴
网址
DOI
10.1063/5.0146168 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Tugba Piskin; Yuchen Qian; Patrick Pribyl; Walter Gekelman; Mark J. Kushner
出版日期:2023-05-01
求助人
byyyy 在 2024-01-15 11:00:42 发布自辽宁,悬赏 20 积分
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