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 Polyacrylic Acid as a Lubricant and a Complement to 1,2,4-Triazole for Copper Chemical Mechanical Polishing 聚丙烯酸作为铜化学机械抛光的润滑剂和1，2，4-三唑的补充剂
相关领域
化学机械平面化
铜
材料科学
润滑油
聚丙烯酸
抛光
表面粗糙度
化学工程
泥浆
聚合物
腐蚀
冶金
复合材料
纳米技术
工程类
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期刊：Tribology Letters 作者：Liang Jiang; Qiuyu Li; Yu‐Shan Chen; Yuan Wu; Mao Sun; et al 出版日期：2023-04-25 |
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