Fabrication of (200)-Oriented TiN Films on Si (100) Substrates by DC Magnetron Sputtering

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标题	Fabrication of (200)-Oriented TiN Films on Si (100) Substrates by DC Magnetron Sputtering 直流磁控溅射在Si（100）衬底上制备（200）取向的TiN薄膜相关领域锡材料科学溅射沉积溅射腔磁控管薄膜制作光电子学 Crystal（编程语言）衍射光学纳米技术冶金计算机科学物理医学病理程序设计语言替代医学
网址	https://doi.org/10.1109/tasc.2014.2383694
DOI	10.1109/tasc.2014.2383694 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Applied Superconductivity 作者：Rui Sun; Kazumasa Makise; Wei Qiu; Hirotaka Terai; Zhen Wang 出版日期：2015-06-01
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