Supercritical metalens at h-line for high-resolution direct laser writing

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标题	Supercritical metalens at h-line for high-resolution direct laser writing 用于高分辨率激光直写的h线超临界金属透镜相关领域材料科学光学平版印刷术极紫外光刻数值孔径镜头（地质）激光器波长光电子学焦距衍射光刻分辨率（逻辑）纳米柱光子学纳米技术物理纳米结构人工智能计算机科学
网址	https://doi.org/10.29026/oes.2024.230035 AI链接 oejournal.orgdoi.org
DOI	10.29026/oes.2024.230035 doi
其它	期刊：Opto-Electronic Science 作者：Jichao Fu; Mengting Jiang; Zeng Wang; Yi Fan Chen; Yuanda Liu; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	MADKAI 在 2025-03-04 10:02:04 发布自浙江，悬赏 30 积分
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