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 The influence of nitrogen on the morphology of ZrN coatings deposited by magnetron sputtering 氮对磁控溅射ZrN镀层形貌的影响
相关领域
材料科学
溅射
形态学（生物学）
溅射沉积
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薄膜
化学
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期刊：Applied Surface Science 作者：Tatyana A. Kuznetsova; V. A. Lapitskaya; Anastasiya Khabarava; Sergei A. Chizhik; Bogdan Warcholiński; et al 出版日期：2020-08-30 |
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