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 Review on advances in microcrystalline, nanocrystalline and ultrananocrystalline diamond films-based micro/nano-electromechanical systems technologies 基于微晶、纳米和超纳米金刚石薄膜的微/纳米机电系统技术进展
相关领域
纳米机电系统
纳米技术
材料科学
钻石
微电子机械系统
微晶
纳米晶材料
纳米-
工程物理
纳米颗粒
纳米医学
工程类
复合材料
生物
古生物学
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期刊：Journal of materials science 作者：Orlando Auciello; Dean M. Aslam 出版日期：2021-01-25 |
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