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标题
Substrate removal structures for AlScN/diamond surface acoustic wave resonators
AlScN/金刚石声表面波谐振器的衬底去除结构
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网址
DOI
10.1016/j.diamond.2023.109726 doi
其它 期刊:Diamond and Related Materials
作者:Yanpu Chen; Jiaxin Zhao; Yuanjie Yang; Shengran Lin; Peng Wang; et al
出版日期:2023-03-01
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养条狗吧 在 2024-07-29 22:06:31 发布自广东,悬赏 10 积分
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