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Substrate removal structures for AlScN/diamond surface acoustic wave resonators
AlScN/金刚石声表面波谐振器的衬底去除结构
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:Yanpu Chen; Jiaxin Zhao; Yuanjie Yang; Shengran Lin; Peng Wang; et al 出版日期:2023-03-01 |
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