Polishing process of single crystal sapphire substrate based on femtosecond laser

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标题	Polishing process of single crystal sapphire substrate based on femtosecond laser 基于飞秒激光的蓝宝石单晶基板抛光工艺相关领域材料科学抛光蓝宝石飞秒激光器机械加工光电子学表面粗糙度光学脆性复合材料冶金物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2655586
DOI	10.1117/12.2655586 doi
其它	期刊：作者：Zhihao Chen; Hao Yuan; Dong Wu; Xun Cao; Wenwu Zhang 出版日期：2022-12-16
求助人	shan 在 2024-03-23 17:16:39 发布自四川，悬赏 20 积分
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