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标题
Optimization of Laser-induced Deep Etching for TGV Fabrication in Fused Silica
熔融石英中TGV激光诱导深蚀刻的优化
相关领域
制作 蚀刻(微加工) 材料科学 激光器 光电子学 光学 复合材料 医学 病理 替代医学 物理 图层(电子)
网址
DOI
10.1109/icept59018.2023.10492062 doi
其它 期刊:
作者:Jingli Liu; Chenhui Xia; Ming Xin; Yin Chen
出版日期:2023-08-08
求助人
现在到未来 在 2024-07-10 10:43:03 发布自福建,悬赏 10 积分
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