Imaging effects of particles on the surface of EUV mask and wafer - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	Imaging effects of particles on the surface of EUV mask and wafer EUV掩模和晶片表面粒子的成像效应相关领域极紫外光刻薄脆饼曲面（拓扑）材料科学光学光电子学工程物理纳米技术工程类物理几何学数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3027067
DOI	10.1117/12.3027067 doi
其它	期刊：作者：Richard Semaan; Gerardo Bottiglieri; Andreas Erdmann; Gijsbert Rispens; Laurens de Winter; et al 出版日期：2024-09-18
求助人	joiawhrfoiwea 在 2024-09-23 09:52:05 发布自北京，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: XX发布了新的文献求助10

刚刚; 小马甲的应助被小趴蔡采纳，获得10

2秒前; 陌浅然发布了新的文献求助10

2秒前; andrele完成签到，获得积分10

2秒前; TJW发布了新的文献求助10

2秒前; 领导范儿的应助被鱼头星星kk采纳，获得10

3秒前; li驳回了123PY的应助

4秒前; 发财达人发布了新的文献求助10

4秒前; 搜集达人的应助被曾经二娘采纳，获得10

4秒前; 无花果上传了应助文件

7秒前; CodeCraft上传了应助文件

8秒前; 无花果上传了应助文件

9秒前; Yr发布了新的文献求助20

9秒前; 落雁沙发布了新的文献求助10

10秒前; orixero上传了应助文件

10秒前; Xenia发布了新的文献求助10

11秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

13秒前; Jasper的应助被Swilder采纳，获得10

14秒前; 无私念瑶发布了新的文献求助10

14秒前; 小鲸鱼完成签到，获得积分10

14秒前; 畅快新烟完成签到，获得积分10

14秒前; 布伦希尔地完成签到，获得积分10

15秒前; 田様上传了应助文件

15秒前; Zyyyh发布了新的文献求助10

15秒前; 李在猛完成签到，获得积分10

15秒前; 香蕉船上的蕉太狼的应助被辛勤香岚采纳，获得10

16秒前; CodeCraft上传了应助文件

16秒前; 善学以致用上传了应助文件

17秒前; hu发布了新的文献求助10

17秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

18秒前; 情怀上传了应助文件

18秒前; Orange上传了应助文件

19秒前; Evelyn100899发布了新的文献求助20

20秒前; 科研通AI2S的应助被wuwuhu采纳，获得10

20秒前; Pauline发布了新的文献求助10

21秒前; 之道发布了新的文献求助10

21秒前; 西伯侯发布了新的文献求助10

21秒前; 华仔的应助被111采纳，获得10

21秒前; CipherSage上传了应助文件

22秒前; 情怀上传了应助文件

22秒前

高分求助中: Sustainability in Tides Chemistry 2800; The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000; юрские динозавры восточного забайкалья 800; English Wealden Fossils 700; Foreign Policy of the French Second Empire: A Bibliography 500; Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500; Classics in Total Synthesis IV 400

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3145789; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2797251; 关于积分的说明 7823240; 捐赠科研通 2453560; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1305699; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 627543; 版权声明 601484

今日热心研友

个性的紫菜

乐乐乐乐乐乐

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通